內(nèi)齒量儀采用了球形測頭，替代了傳統(tǒng)的量棒測量方式，從而提高了測量的精度，便捷性和穩(wěn)定性，同時還能測出內(nèi)孔的形狀誤差，如錐度，橢圓度等，為了滿足齒輪不同模數(shù)的變化，該測量儀的測球也是可以方便更換，從而大大的提高了測量儀的適用性，該測量儀適用于測量奇數(shù)齒輪和測量偶數(shù)齒輪。
一、CNC測量
這類內(nèi)齒量儀實(shí)質(zhì)上是含有一個回轉(zhuǎn)角坐標(biāo)的四坐標(biāo)測量機(jī)，主要用于齒輪單項(xiàng)幾何精度的檢測，也可用于（靜態(tài)）齒輪整體誤差的測量。
工作方式是通過接口或網(wǎng)絡(luò)的信息集成，將測量機(jī)、錐齒輪設(shè)計(jì)及錐齒輪加工機(jī)床連接一起，構(gòu)建成錐齒輪閉環(huán)制造系統(tǒng)，還能用于反求工程對工件參數(shù)進(jìn)行測定。
二、齒輪單面嚙合滾動點(diǎn)掃描測量儀
這類儀器通常采用高精度圓光柵作為角度傳感器，測量基本單元是齒輪上特制的測量棱線，分別為齒廓測量棱線和齒向（螺旋線）測量棱線。測量重復(fù)性可達(dá)1至2um，可測量錐齒輪的齒形、齒向、齒距偏差，齒面形貌偏差，切向綜合偏差以及接觸區(qū)。
三、激光齒輪測量儀
這類內(nèi)齒量儀通常采用高精度氣浮主軸，氣浮導(dǎo)軌，還采用激光測長系統(tǒng)進(jìn)行齒面精度檢測。這類儀器的測量精度和重復(fù)精度一般標(biāo)稱是0.2至0.3um。由于采用激光非接觸測量方式，儀器可以測量齒面上非漸開線齒根部分幾何形狀，一般配置的軟件可以模擬求得被測齒輪與其配對齒輪嚙合時的傳動誤差并進(jìn)行分析，所測數(shù)據(jù)和分析數(shù)據(jù)還可通過LAN共享。
